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產(chǎn)品報道

[請教]取樣器的清洗?多晶硅生產(chǎn)過程中三氯氫硅和四氯化硅取樣分析后,對取樣器的清洗非常麻煩。

發(fā)布時間:2025-02-14 01:25:03瀏覽數(shù):

[請教]取樣器的清洗?多晶硅生產(chǎn)過程中三氯氫硅和四氯化硅取樣分析后,對取樣器的清洗非常麻煩。
依次用氮氣、水、10%的氫氧化鈉、水、高純水、高純氮氣清洗吹掃。
也可以設計一個清洗吹掃裝置。
一般都是遙遙密閉的取樣器,較不要拿水清洗,如果有殘余的硅烷的話會劇烈反應的??梢韵扔玫獨獯祾撸缓笥秘搲貉b置吹掃,然后就是直接密閉起來!取樣瓶都限定遙遙的,放樣完就可以密封起來。
以上只是限于一般生產(chǎn)的取樣器產(chǎn)品,遙遙取樣器的技術都很成熟,技術水平也相對的提高,對于取樣器的生產(chǎn),都相接遙遙取樣完畢直接自動吹掃,根本不用再清洗的。
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